极大规模集成电路制造装备及成套工艺(02专项)

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重点进行45-22纳米关键制造装备攻关,开发32-22纳米互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺、90-65纳米特色工艺,开展22-14纳米前瞻性研究,形成65-45纳米装备、材料、工艺配套能力及集成电路制造产业链。

收录时间:
2025-06-02
极大规模集成电路制造装备及成套工艺(02专项)极大规模集成电路制造装备及成套工艺(02专项)

重点进行45-22纳米关键制造装备攻关,开发32-22纳米互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺、90-65纳米特色工艺,开展22-14纳米前瞻性研究,形成65-45纳米装备、材料、工艺配套能力及集成电路制造产业链。

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科学技术部高技术研究发展中心(科学技术部基础研究管理中心)是国家首批启动改建的中央财政科技计划(专项、基金等)项目管理专业机构,主要承担国家重点研发计划基础前沿类和重大共性关键技术类相关领域重点专项科研项目管理工作,负责组织项目评审、立项、过程管理和结题验收等工作。目前受部际联席会议委托承担25个国家重点研发计划重点专项项目管理;承担改革过渡期国家重点基础研究发展计划(973计划)、国家高技术研究发展计划(863计划)和国家科技支撑计划相关领域项目过程管理和基础性工作;承担国家重点实验过程管理工作。 是国家科技创新基地和国家技术创新体系的重要组成部分。科学技术部高技术研究发展中心(科学技术部基础研究管理中心)是国家首批启动改建的中央财政科技计划(专项、基金等)项目管理专业机构,主要承担国家重点研发计划基础前沿类和重大共性关键技术类相关领域重点专项科研项目管理工作,负责组织项目评审、立项、过程管理和结题验收等工作。目前受部际联席会议委托承担25个国家重点研发计划重点专项项目管理;承担改革过渡期国家重点基础研究发展计划(973计划)、国家高技术研究发展计划(863计划)和国家科技支撑计划相关领域项目过程管理和基础性工作;承担国家重点实验过程管理工作。

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